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RWS 單臂晶圓機(jī)器人

特征

軟硬件垂直整合優(yōu)勢(shì)

，并且采用高精密，高剛性直驅(qū)馬達(dá)

，重復(fù)精度達(dá)±0.02mm

，回轉(zhuǎn)半徑小

，空間使用率高

。

應(yīng)用

適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)

、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)

、LED產(chǎn)業(yè)(藍(lán)寶石基板

、膠環(huán))等取放設(shè)備。

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